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氣體管道(dào)工程中常說的氦氣檢漏（氦檢）是怎樣(yàng)的？
更新時(shí)間：2023-05-12 14:24:53
在氣體管道(dào)工程中，由于施工中的各種(zhǒng)因素，在一些管道(dào)的連接處可能(néng)會(huì)有一些肉眼難以察覺的小孔，使用時(shí)會(huì)導緻洩漏，造成(chéng)事(shì)故。特别是在半導...
在氣體管道(dào)工程中，由于施工中的各種(zhǒng)因素，在一些管道(dào)的連接處可能(néng)會(huì)有一些肉眼難以察覺的小孔，使用時(shí)會(huì)導緻洩漏，造成(chéng)事(shì)故。特别是在半導體、集成(chéng)電路等微電子行業中，如果發(fā)生洩漏，輸送超高純電子特殊氣體的燃氣管道(dào)工程將(jiāng)對(duì)生産安全産生很大影響，因此檢漏非常重要。
一.常說的氦檢是什麼(me)？
一.常說的氦檢是什麼(me)？
首先，我們要了解，氣體管道(dào)的五項測試是QC中***重要的一部分，這(zhè)五項測試分别是：保壓測試、氦氣檢漏測試（氦檢）、水分測試、氧分測試和顆粒測試，确保氣體管道(dào)系統的品質達到一定的水準和滿足客戶的需求。
二.氦氣是如何檢漏的呢？
衆所周知，在元素周期表中，氦（He）的相對(duì)分子質量是除氫（H）以外***小的，是***輕的惰性氣體。氣體管道(dào)的氦氣檢漏（氦檢）利用的***是這(zhè)一點。
1.高純度散裝氣體管道(dào)氦氣檢漏方法應采用向(xiàng)内檢漏法、閥座檢漏法和向(xiàng)外檢漏法。
2.向(xiàng)内檢漏法（氦氣注入法）是通過(guò)内部吸入高純度氣體管線，外部噴射氦氣來進(jìn)行的
3.檢測閥座洩漏的方法必須在閥門前充入氦氣，并在下遊抽真空
4.必須使用朝外檢漏法（吸槍法）在高純度氣體管線内填充氦氣或氦氮混合物，并使用外部吸槍檢查可能(néng)的洩漏點
5.氦檢漏儀必須是質譜氦檢漏器，檢測精度不低于1
6.高純氣體氦氣檢漏的洩漏率應符合下列要求：
（1）通過(guò)向(xiàng)内洩漏檢測方法測得的洩漏率不得超過(guò)1.10-9 mbar l/s
（2）閥座洩漏檢測法測得的洩漏率不得超過(guò)1.10-6mbar l/s
（3）向(xiàng)外洩漏檢測法測得的洩漏率不得超過(guò)1.10-6mbar l/s
7.氦檢漏發(fā)現的洩漏點修複後(hòu)，必須重新進(jìn)行氣密性試驗，合格後(hòu)，再按規定進(jìn)行氦檢漏
8.所有可能(néng)的洩漏應使用塑料袋進(jìn)行隔熱
9.系統測試後(hòu)，用高純度氮氣或氩氣填充和清潔
10.檢查後(hòu)，應提交試驗報告
